维修中心
维修BURKERT
关键词：维修BURK气体质量流量控制器 (MFC) 类型 8713E
8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现*高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备**的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。与上*设备的通信完全采用数字形式，这样一来，就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。
